电子气

大连大特气体有限公司近年来持续加大电子气体投入，于 2018 年成为“集成电路材料产业技术创新战略联盟”成员。凭借丰富的配气经验、先进的分析能力（CNAS 认证实验室）和严谨的管理体系，不断开发满足客户需求的气体产品，形成了以混合气为主、特殊化学气体及高纯气为辅的产品线，相关产品已应用于 LED、IC、光伏等行业。 典型产品包含：PH3/H2、PH3/N2、PH3/He、SiH4/H2、SiH4/N2、B2H6/H2、30%O2/He、20%O2/Ar、3%H2/Ar、15%O2/Ar、0.5%O2/He、1.2%He/N2、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne、Kr/Ne、Ar/Xe/Ne、4%H2/N2、2.7%C2H4/He、99.9%NO 等。 常见阀门和充装参数：DISS632/CGA350、DISS714、DISS724、CGA679/DISS728、CGA580/DISS718、JISS22-14OR 等，充装压力可见 10MPa、12MPa、13.8MPa、3.5MPa 等规格。